我国科学家首次获得纳米级光雕刻三维结构
14日夜,国科构国际顶级学术期刊《自然》发表了我国科学家在下一代光电芯片制造领域的首次重大突破。南京大学张勇、纳米肖敏、雕刻祝世宁领衔的维结科研团队,发明了一种新型“非互易飞秒激光极化铁电畴”技术,国科构将飞秒脉冲激光聚焦于材料“铌酸锂”的首次晶体内部,通过控制激光移动的纳米方向,在晶体内部形成有效电场,雕刻实现三维结构的维结直写和擦除。这一新技术,国科构突破了传统飞秒激光的首次光衍射极限,把光雕刻铌酸锂三维结构的纳米尺寸,从传统的雕刻1微米量级(相当于头发丝的五十分之一),首次缩小到纳米级,维结达到30纳米,大大提高了加工精度。 这一重大发明,未来或可开辟光电芯片制造新赛道,有望用于光电调制器、声学滤波器、非易失铁电存储器等关键光电器件芯片制备,在5G/6G通讯、光计算、人工智能等领域有广泛的应用前景。 (总台央视记者 周培培)
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